书目详细信息
： 微细加工技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISSN/价格： | 1003-8213 |
|---|---|
| 统一书刊号： | CN |
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 430000 |
| 题名责任者： | 微细加工技术 |
| 卷期编号： | 创刊号(1983,9)=[总1];1983,no.2(1983,12)～=总2～ |
| 出版发行： | 长沙 ：，湖南省长沙市96号信箱301分箱(邮码410111) ：，该刊编辑部 ：，1983～ |
| 载体形态： | 26cm |
| 出版频率附注： | 双月刊 |
| 出版频率附注： | 季刊 |
| 并列题名： | Microfabrication technology |
| 中图分类号： | TN4 |
| 个人名称等同： | 孙洪涛 主编 |
| 团体名称等同： | 机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所 主办 |
| 记录来源： | CN NLC 19930605 |
| 馆藏信息： | YNAU/////TN |