书目详细信息
： 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5603-5109-4:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用/.邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,哈尔滨工业大学出版社:,2016.02 |
| 载体形态项： | 301页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | “十二五”国家重点图书 |
| 提要文摘： | 本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS 工艺。主要介绍MEMS 的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS 实现工艺，主要有刻蚀( 包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀) ，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料。 |
| 并列题名： | = MEMS technology foundation and application |
| 题名主题： | 微电机 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TM38-43 |
| 个人名称等同： | 邱成军 编著 |
| 个人名称等同： | 曹姗姗 编著 |
| 个人名称等同： | 卜丹 编著 |
| 记录来源： | CN YNAU 20161213 |