书目详细信息
： 半导体制造过程的批间控制和性能监控
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-070817-5:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造过程的批间控制和性能监控/.郑英, 王妍, 凌丹著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023.11 |
| 载体形态项： | 243页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。第1章为半导体制造过程概述，包括国内外研究现状和发展趋势。第2、3章介绍批间控制、控制性能和制造过程监控。第4～7章讨论机台干扰、故障、度量时延对系统性能的影响，提出多种批间控制衍生算法，包括双产品制程的EWMA批间控制算法、变折扣因子EWMA批间控制算法、偏移补偿批间控制算法、基于T-S模糊模型的批间控制算法。第8～11章介绍半导体制造过程的性能和过程监控方法，包括：设计模型评价指标进行建模质量评估；提出基于时间序列模型的批间控制系统过程监控方法，进一步提出二维动态批次过程的建模和稳定性评价指标；提出基于数据的故障预测方法。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 郑英 著 |
| 个人名称等同： | 王妍 著 |
| 个人名称等同： | 凌丹 著 |
| 记录来源： | CN NMU 20231220 |
| 记录来源： | CN YNAU 20240513 |