书目详细信息
： MEMS法珀腔光学声传感器
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-46695-3:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS法珀腔光学声传感器/.郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2023.11 |
| 载体形态项： | 211页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 工业信息化技术丛书 |
| 提要文摘： | MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。 |
| 题名主题： | 光纤传感器 |
| 中图分类： | TP212.4 |
| 个人名称等同： | 郑永秋 著 |
| 个人名称等同： | 陈佳敏 著 |
| 个人名称等同： | 武丽云 著 |
| 记录来源： | CN 浙江大涵文化 20240117 |
| 记录来源： | CN YNAU 20240514 |